近年来,随着极大规模集成电路产业的发展,高纯氢氟酸、高纯硝酸的使用范围越来越广,面对技术指标不统一、执行标准不一致的现状,在全国有色金属标准化技术委员会、全国半导体设备和材料标准化技术委员会材料分技术委员会的组织下,ICAS英格尔协同国内外专业机构,共同起草制定了T/CNIA0117-2021《电子工业用高纯氢氟酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》以及T/CNIA0119-2021《电子工业用硝酸中痕量阴离子含量的测定 离子色谱法》。

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统一标准,助力半导体转型

虽然,中国已经成为全球最大的半导体市场,但随着集成电路产业对电子材料的纯度要求不断升高,在一些关键的高端材料中,国产化仍存在问题。高端产业主要被欧美日韩等少数国家垄断,国内大部分产品自给率较低。

随着以美国为首的西方势力对中国半导体材料的技术制约。半导体材料行业逐渐向精细化、高端化、尖端化自给自足的方向转型。由于半导体材料种类繁多,加工工艺复杂,形态各异,技术难度高,真实的反映半导体材料质量情况,掌握其关键参数的生成工艺,才能助力研发技术的更新迭代。因此建立一个适用于电子材料产业的技术标准和检测方法标准,对促进我国半导体产业发展具有重要意义。

英格尔推动产业链的完善

在半导体产业中,材料和设备是推动集成电路技术创新的引擎,也是芯片制造的支撑性行业,所有的制造和封测工艺都会用到不同的半导体材料。

伴随着物联网、大数据、人工智能、5G通信、新能源汽车等行业快速发展,国内芯片市场需求持续增长。巨大的机遇推动我国半导体材料产业初步形成较完整创新研发和产业化体系。我国开展第三代半导体材料相关研究的国家重点实验室、国家工程中心、国家工程实验室20余家。上、中、下游及设计、配套等各环节均开始逐步完善,初步形成了较为完整的产业链。

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英格尔作为产业链的其中一环,已经具备标准编制即相关实验条件和分析能力,以创新技术为核心,推动了2项标准的起草。英格尔联合国际巨头安捷伦共同建立的高纯电子材料联合检测中心,具备CMA、CNAS双资质认可,百级洁净实验室环境,并严格按照合规化标准化质量要素管控。不仅具备高标准实验室、实验设备,同时具备专业技术人员,能对particles、金属元素、阴离子、理化参数等性能进行评估并加以鉴别,满足整体产品质量质控,以专业化、合规化认证、检测、分析、研发能力推动产业链的完善。